平面度儀誤差測量方法的介紹
日期：2025-06-02 17:01
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摘要：
平面度儀采用掠入射光干涉原理，專(zhuān)注于高精密加工表面平面度快速測量評估, 廣泛應用于航空航天，汽車(chē)工業(yè)噴油嘴行業(yè)，泵、閥門(mén)密封件表面，以及光學(xué)工程，激光工程等領(lǐng)域。
平面度誤差測量的常用方法有如下幾種：
1、平晶干涉法：
用光學(xué)平晶的工作面體現理想平面，直接以干涉條紋的彎曲程度確定被測表面的平面度誤差值。主要用于測量小平面，如量規的工作面和千分尺測頭測量面的平面度誤差。
平面是由直線(xiàn)組成的，因此直線(xiàn)度測量中直尺法、光學(xué)準直法、光學(xué)自準直法、重力法等也適用于測量平面度誤差。測量平面度時(shí)，先測出若干截面的直線(xiàn)度，再把各測點(diǎn)的量值按平面度公差帶定義(見(jiàn)形位公差)利用圖解法或計算法進(jìn)行數據處理即可得出平面度誤差。也有利用光波干涉法和平板涂色法測量平面誤差的。
2、打表測量法：
打表測量法是將被測零件和測微計放在標準平板上，以標準平板作為測量基準面，用測微計沿實(shí)際表面逐點(diǎn)或沿幾條直線(xiàn)方向進(jìn)行測量。打表測量法按評定基準面分為三點(diǎn)法和對角線(xiàn)法：三點(diǎn)法是用被測實(shí)際表面上相距遠的三點(diǎn)所決定的理想平面作為評定基準面，實(shí)測時(shí)先將被測實(shí)際表面上相距遠的三點(diǎn)調整到與標準平板等高；對角線(xiàn)法實(shí)測時(shí)先將實(shí)際表面上的四個(gè)角點(diǎn)按對角線(xiàn)調整到兩兩等高。然后用測微計進(jìn)行測量，測微計在整個(gè)實(shí)際表面上測得的大變動(dòng)量即為該實(shí)際表面的平面度誤差。
3、液平面法：
液平面法是用液平面作為測量基準面，液平面由 “連通罐”內的液面構成，然后用傳感器進(jìn)行測量。此法主要用于測量大平面的平面度誤差。
4、光束平面法：
光束平面法是采用準值望遠鏡和瞄準靶鏡進(jìn)行測量，選擇實(shí)際表面上相距遠的三個(gè)點(diǎn)形成的光束平面作為平面度誤差的測量基準面。
5、激光平面度測量?jì)x：
激光平面度測量?jì)x用于測量大型平面的平面度誤差平面度測量平面度測量現場(chǎng)。
6、利用數據采集儀連接百分表測量平面度誤差的方法
測量?jì)x器：偏擺儀、百分表、數據采集儀。
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